本实用新型公开了一种半导体制造用真空阀活塞装置，包括真空阀活塞，真空阀活塞包括位于上方的顶部活塞和位于下方的底部活塞，顶部活塞的外围加工成型有环形槽，环形槽内套嵌有耐磨环，底部活塞的外围对称开设有两组镶嵌槽，两组镶嵌槽内均套嵌有氟橡胶O形圈，位于上方的氟橡胶O形圈与耐磨环之间形成有环形口，环形口内套嵌有隔垫，隔垫位于顶部活塞与底部活塞之间，底部活塞的底部对称开设有两组卡槽，两组卡槽之间连接有垫块，垫块包裹于底部活塞的底部且两端固定于卡槽内。本实用新型在活塞的顶部设计有耐磨环，并对耐磨环采用聚酯纤维的合成树脂，使与阀体的表面接触,最大程度地减少松紧度变化的发生。