本实用新型提供一种半导体制造用真空阀活塞装置，包括活塞、第一圆环形橡胶密封垫圈、高强度合金耐磨垫板以及底部卡套，活塞环形侧面套设有高强度合金耐磨垫板，第二密封卡槽内部装配有第一圆环形橡胶密封垫圈，第一密封卡槽内部装配有第二圆环形橡胶密封垫圈，第二密封卡槽内部开设有内置活动槽，内置活动槽内部底部设置有固定支杆，固定支杆环形侧面套设有伸缩推力弹簧，该设计解决了原有活塞长时间使用后会磨损，活塞与阀体间会产生空隙，影响内部的气密性，且活塞安装不够稳固的问题，本实用新型结构合理，有效防止真空阀活塞产生磨损，保证真空阀活塞具有良好的气密性，提高了真空阀活塞的安装稳固性。