一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具
授权
摘要

本申请公开了一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具。包括:用于量化光电探针压力值的压力检测组件和用于夹持所述光电探针的滑动夹紧组件;本申请通过在安装部底部设置通槽,将压力传感器与安装部底部固接,将压力传感器另一端通过连接部与固定部连接;当探针段与被测芯片接触时,光电探针带动压力传感器向上抬起,压力传感器内部电桥结构发生形变,产生相应压力值;将滑动夹紧部套设在固定部,在固定部设置容纳槽和通孔;在夹紧光电探针时,将安装段置于通孔内,并使水平段放在容纳槽内,移动滑动夹紧部,使其压住安装段,水平段紧贴容纳槽,完成夹紧过程;当更换光电探针时,将滑动夹紧部远离安装段,即可取下光电探针进行更换。

基本信息
专利标题 :
一种适用于光电芯片测试系统的探针夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021851973.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-31
授权号 :
CN213658787U
授权日 :
2021-07-09
发明人 :
赵楠
申请人 :
河北博特半导体设备科技有限公司
申请人地址 :
河北省廊坊市三河市燕郊开发区汉王路1号
代理机构 :
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨玉廷
优先权 :
CN202021851973.3
主分类号 :
G01R1/04
IPC分类号 :
G01R1/04  G01R31/28  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳;支承构件;端子装置
法律状态
2021-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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