一种伸缩式芯片探针及芯片测试系统
公开
摘要

本发明提供了一种伸缩式芯片探针及芯片测试系统,属于芯片测试技术领域。该伸缩式芯片探针包括探针套和可相对于所述探针套移动的第一探针头,所述第一探针头具有露出于所述探针套的探测端,用于探测芯片的电信号,其中,所述第一探针头设有轴向贯穿其自身的第一通孔,所述第一通孔内固设有内嵌光纤,所述内嵌光纤具有轴向相对的第一端和第二端,所述第一端靠近所述探测端,所述第一端内陷于所述第一通孔内,所述第二端用于与引导光纤对接,以传递光信号,所述引导光纤与光信号分析仪相连。本发明还提供一种包括上述伸缩式芯片探针的芯片测试系统。本发明的伸缩式芯片探针及芯片测试系统有利于芯片的小型化。

基本信息
专利标题 :
一种伸缩式芯片探针及芯片测试系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114624483A
申请号 :
CN202210520500.2
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2022-05-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
罗跃浩黄建军胡海洋
申请人 :
苏州联讯仪器有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州高新区湘江路1508号1号楼
代理机构 :
北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵燕燕
优先权 :
CN202210520500.2
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067  G01R31/28  G01R35/00  G01J5/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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