一种用挠性铜板液态感光抗蚀剂涂布装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用挠性铜板液态感光抗蚀剂涂布装置，包括支撑架、支撑板和安装框架，所述支撑架的上端左部和上端右部均固定连接有旋转电机，两个所述旋转电机的下端均输出端贯穿支撑架的下端且均固定连接有一个旋转架，两个所述旋转架上均穿插固定连接有一个换料机构，所述支撑板设置有两个，两个所述支撑板的中部共同穿插固定连接有二号旋转轴，两个所述支撑板的后部共同穿插固定连接有一号旋转轴，所述一号旋转轴和二号旋转轴之间共同穿插活动连接有两个动限位机构。本实用新型所述的一种用挠性铜板液态感光抗蚀剂涂布装置，缩短了在上料和下料的过程中涂布机的等待时间，提高涂布作业的效率，提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种用挠性铜板液态感光抗蚀剂涂布装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021860333.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-31
授权号 ：
CN212541010U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
余光明刘河洲吴飞龙刘国重
申请人 ：
衡阳华灏新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省衡阳市雁峰区岳屏镇东湖村十二组衡山科学城红树林研发创新区一期A4栋3楼
代理机构 ：
深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗炳锋
优先权 ：
CN202021860333.9
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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