抗蚀剂组合物

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明提供一种抗蚀剂组合物，其不仅可以提高调制抗蚀剂时的溶解性、显影时的抗蚀膜密合性的特性，而且抗蚀剂稳定性提高，还具有优异的安全性，其是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，该有机溶剂是从含有一缩二丙二醇单烷基醚、一缩二丙二醇烷基醚乙酸酯等的组中选择的至少1种一缩二丙二醇衍生物，且该一缩二丙二醇衍生物的用下述式(1)～(4)(式中，R¹表示烷基或芳基，R²表示氢原子、烷基、芳基、乙酰基或丙酰基，R²表示乙酰基或丙酰基)表示的结构异构体中的式(1)表示的结构异构体的含有率为30重量％或30重量％以上且不足100重量％的结构异构体混合物。

基本信息

专利标题：

抗蚀剂组合物

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1782877A

申请号：

CN200510124725.2

公开（公告）日：

2006-06-07

申请日：

2005-11-16

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

牧泽克宪片山彻

申请人：

大赛璐化学工业株式会社

申请人地址：

日本大阪府

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张平元

优先权：

CN200510124725.2

主分类号：

G03F7/039

IPC分类号：

G03F7/039 G03F7/00