化学放大的阳性抗蚀剂组合物
专利权的终止
摘要
本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。本发明还提供可用作化学放大的阳性抗蚀剂组合物的组分的酯衍生物以及生产该酯衍生物的方法。
基本信息
专利标题 ：
化学放大的阳性抗蚀剂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1800977A
申请号 ：
CN200510048390.0
公开（公告）日 ：
2006-07-12
申请日 ：
2005-12-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
武元一树山口训史坂本宏
申请人 ：
住友化学株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张轶东
优先权 ：
CN200510048390.0
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/038 G03F7/039
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2015-02-11 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101598341144
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利号 : ZL2005100483900
申请日 : 20051220
授权公告日 : 20110615
终止日期 : 20131220
号牌文件序号 : 101598341144
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利号 : ZL2005100483900
申请日 : 20051220
授权公告日 : 20110615
终止日期 : 20131220
2011-06-15 ：
授权
2008-01-09 ：
实质审查的生效
2006-07-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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