一种适合于酸产生剂的盐及含有它的化学放大型抗蚀剂组合物
专利权的终止
摘要
本发明提供了一种式(I)的盐，其中X代表－OH或－Y－OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
基本信息
专利标题 ：
一种适合于酸产生剂的盐及含有它的化学放大型抗蚀剂组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1821875A
申请号 ：
CN200610067361.3
公开（公告）日 ：
2006-08-23
申请日 ：
2006-02-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
原田由香子武元一树户石好治
申请人 ：
住友化学株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
温宏艳
优先权 ：
CN200610067361.3
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2014-04-09 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101581315954
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利号 : ZL2006100673613
申请日 : 20060215
授权公告日 : 20101027
终止日期 : 20130215
号牌文件序号 : 101581315954
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利号 : ZL2006100673613
申请日 : 20060215
授权公告日 : 20101027
终止日期 : 20130215
2010-10-27 ：
授权
2008-03-05 ：
实质审查的生效
2006-08-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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