用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置
授权
摘要
本实用新型公开了用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块的侧边设置有两个侧边定位块，前定位块与两个侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前部的侧边定位块的中部前方由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记；所述的前定位块与前部的侧边定位块之间的距离为20mm，两个侧边定位块之间的距离为100mm，前部的侧边定位块与近点小孔标记之间的距离为300mm，近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。
基本信息
专利标题 ：
用于离线校准尼康SF120光刻机激光器光轴的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021976039.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213749014U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
潘大伟
申请人 ：
上海矽锐电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康意路499号2幢A座5360室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021976039.4
主分类号 ：
G01M11/04
IPC分类号 ：
G01M11/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/04
••其光学实验台
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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