一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，前定位块的侧边放置有前侧边定位块，前侧边定位块的后部放置有后侧边定位块，前定位块、前侧边定位块、后侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台，前定位块与前侧边定位块的中部前方依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记。本实用新型采用三个主支撑块组合而成的激光器光轴离线校准装置，将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线，可直观地观察光线的变化，校准操作简便且耗时短，不占用生产设备的时间。
基本信息
专利标题 ：
一种用于离线校准尼康i11光刻机激光器光轴的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021976268.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213022247U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
潘大伟
申请人 ：
上海矽锐电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康意路499号2幢A座5360室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021976268.6
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G01M11/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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