一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块作为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，后定位块作为激光器的后端定位挡板，放置在装置整体的后侧，前定位块、后定位块的侧边分别放置有一个侧边定位块，作为激光器的侧边位置定位挡板，前定位块、侧边定位块、后定位块的表面均设置有放置激光器的承载平面台，前定位块、侧边定位块、后定位块的底部均设置有连接面，前定位块与侧边定位块的中部前方靠近光源的一端设置有近点小孔标记、远离光源的一端设置有远点小孔标记。本实用新型校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，且不占用生产设备的时间，应用前景广阔。
基本信息
专利标题 ：
一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021976050.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-11
授权号 ：
CN213022245U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
潘大伟
申请人 ：
上海矽锐电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康意路499号2幢A座5360室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021976050.0
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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