一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置,它涉及激光器校准技术领域。前定位块的右侧、后侧分别设置有侧边定位块、后定位块,前定位块、后定位块、侧边定位块的表面均设置有独立的承载平面台,前定位块的左侧由近至远依次放置有近点小孔标记、远点小孔标记;所述的前定位块与侧边定位块之间的距离为1mm,前定位块与后定位块之间的距离为316mm,侧边定位块与后定位块之间的距离为47mm,近点小孔标记与远点小孔标记之间的距离不小于4000mm。本实用新型根据三点一线的原理,将光刻机内部复杂的光路简化为一条直线,校准操作简便且耗时短,可直观地观察光线的变化,不占用生产设备的时间。
基本信息
专利标题 :
一种用于离线校准尼康S204光刻机激光器光轴的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021976267.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-11
授权号 :
CN213022246U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
潘大伟
申请人 :
上海矽锐电子科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区康意路499号2幢A座5360室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021976267.1
主分类号 :
G01M11/02
IPC分类号 :
G01M11/02 G01M11/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载