一种真空镀膜机的恒温装置
授权
摘要
本实用新型提供一种真空镀膜机的恒温装置，包括：温度传感器、气缸、限流结构、冷却水塔、制冷机以及水泵二，所述保护外壳安装在镀膜机主体外表面，所述保护外壳内部设有冷却支管，所述保护外壳上端设有上汇流口，所述冷却支管上端与上汇流口内部连通，所述上汇流口上端表面左侧安装有温度传感器，所述上汇流口上端表面中心处安装有气缸,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置制冷机，加快真空镀膜机的冷却速度，温度传感器和限流结构的设计，使得冷却支管内的冷却水流随着真空镀膜机内温度的高度而变化，防止冷却支管内水流速度过快，将真空镀膜机内的温度降低过多，影响真空镀膜机正常工作。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的恒温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022097845.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
CN213113499U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
卢林松
申请人 ：
苏州双石真空镀膜有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区望亭镇何家角村何杭路551号一楼
代理机构 ：
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘盼盼
优先权 ：
CN202022097845.0
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C16/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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