一种真空镀膜机的恒温装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜机腔体冷却技术领域，且公开了一种真空镀膜机的恒温装置，包括管壳和镀膜机腔体，所述管壳和镀膜机腔体之间形成冷却腔，所述镀膜机腔体的一侧固定连接有控制管道，且控制管道一侧设置有进水管道，所述控制管道的侧壁上环绕设置有多个U形管道，且控制管道内固定连接有隔板，所述隔板的一端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的一端固定连接有第一活塞，所述控制管道和冷却腔之间通过环绕设置的L形管相连通，所述镀膜机腔体的侧壁上温感装置。该种真空镀膜机的恒温装置，可以在提供一个恒温工作环境，并能够对水资源实现节约利用。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机的恒温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922304735.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211142139U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
丁振勇王大洪谢春喜钟俊超阮炯城蔡蓉马朋朋曾德强
申请人 ：
深圳市正和忠信股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坪地街道佳兴路2号
代理机构 ：
中山市兴华粤专利代理有限公司
代理人 ：
邓爱军
优先权 ：
CN201922304735.4
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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