一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机
授权
摘要

本实用新型公开了一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,包括刻蚀机本体,所述刻蚀机本体的正面设置有放置槽,所述放置槽内腔的顶部固定连接有气箱,所述放置槽内腔的底部固定连接有工作台,所述刻蚀机本体的内腔固定连接有挡板。本实用新型通过工作台、挡板、液压伸缩缸、除尘机构、风机、除尘箱、过滤网和软管的配合,将器件放置在凹槽中,液压伸缩缸带动气腔向上移动,同时风机通过除尘箱和软管将器件表面的灰尘进行吸附,避免在刻蚀过程中有灰尘漂浮在器件上,降低刻蚀精度,过滤网对灰尘进行过滤,保证风机排出气体的洁净,从而达到除尘功能的效果,解决了现有装置不具备除尘功能的问题。

基本信息
专利标题 :
一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022292626.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-15
授权号 :
CN214133107U
授权日 :
2021-09-07
发明人 :
汪子一
申请人 :
江苏金圣硅基新材料研究院有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市新沂市棋盘工业集中区9号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022292626.8
主分类号 :
B08B5/04
IPC分类号 :
B08B5/04  B08B17/02  H01J37/02  H01J37/305  H01L21/67  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/04
用带或不带辅助动作的抽气来清洁
法律状态
2021-09-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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