一种等离子体刻蚀夹具

授权

摘要

本实用新型公开了一种等离子体刻蚀夹具，包括通过连接杆垂直连接的平行设置的上夹具板、下夹具板，还包括设置在所述上夹具板和/或所述下夹具板内表面的挡板，所述挡板与放置在所述上夹具板与所述下夹具板之间的硅片的外形匹配，所述凹槽与所述硅片的外形匹配。所述等离子体刻蚀夹具，通过在上夹具板和/或所述下夹具板内表面设置挡板，而挡板与需要进行等离子刻蚀的硅片的外形匹配，这样在进行等离子体刻蚀过程中，对于上夹具板、下夹具板就能够减少或避免，提高使用寿命，减少更换频率，只需要在对于不同型号的硅片进行等离子刻蚀时，只需更换不同型号规格的挡板即可，提高了刻蚀工艺的方便性，降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

一种等离子体刻蚀夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920426544.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-03-29

授权号：

CN210006750U

授权日：

2020-01-31

发明人：

刘权辉周超

申请人：

浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司

申请人地址：

浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

罗满

优先权：

CN201920426544.2

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/67 H01L21/687