一种刻蚀机夹具基座
授权
摘要
本实用新型公开了一种刻蚀机夹具基座，包括底座，所述底座的左右两侧皆设置有螺纹柱，两个所述螺纹柱的底部皆通过内嵌轴承与底座的内壁活动连接，两个所述螺纹柱的表面皆套设有螺纹套，两个所述螺纹柱的中部设置有移动压板，两个所述螺纹套的表面皆与移动压板的表面固定连接，所述移动压板的顶部设置有夹持装置，所述夹持装置内部的底部开设有条槽，所述条槽内壁的上下两端皆设置有齿条，两个所述齿条的中部设置有齿轮，所述齿轮表面均匀设置有齿块，两个所述齿条的表面皆均匀设置有齿块，所述齿轮表面的齿块与两个所述齿条表面的齿块交错分布。本实用新型可以使得工作人员将多组硅片叠放整齐。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀机夹具基座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022512626.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
CN213366524U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
郑少萍陈涛
申请人 ：
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202022512626.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/687 H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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