提高刻蚀均匀性的夹具
授权
摘要
本实用新型公开一种提高刻蚀均匀性的夹具，包括基板及夹具本体，所述夹具本体设置于所述基板上，所述夹具本体上开设有多个出气孔，所述出气孔以所述夹具本体的中心呈放射状分布于所述夹具本体上。所述夹具本体具有米字型结构。本实用新型为一种提高刻蚀均匀性的夹具，通过在夹具本体上设置放射状的出气孔，可以使得在同一平面内同时利用刻蚀气体进行刻蚀操作，进而可以保证刻蚀气体均匀地分布在显示基板上的，使得对显示基板上的刻蚀气体均匀分布，从而使得显示基板上每个位置的刻蚀速率差别不大，达到均匀刻蚀的目的。
基本信息
专利标题 ：
提高刻蚀均匀性的夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022412662.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-26
授权号 ：
CN213782001U
授权日 ：
2021-07-23
发明人 ：
张正洋张依腾何海山
申请人 ：
信利（惠州）智能显示有限公司
申请人地址 ：
广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
梁睦宇
优先权 ：
CN202022412662.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-07-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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