双向功率器件
授权
摘要
本申请公开了一种双向功率器件，包括：衬底；外延层，位于衬底上；第一掺杂区，位于外延层中；导电通道，自外延层表面向衬底延伸，并与衬底接触；第一沟槽区的多个沟槽，位于第一掺杂区中，将第一掺杂区分隔为交替的第一类子掺杂区与第二类子掺杂区；栅介质层，覆盖第一沟槽区的多个沟槽的下部侧壁；控制栅，位于第一沟槽区的多个沟槽的下部，并与栅介质层接触；屏蔽介质层，覆盖第一沟槽区的多个沟槽的上部侧壁并位于控制栅的表面；以及屏蔽栅，位于第一沟槽区的多个沟槽的上部，并与屏蔽介质层接触，其中，屏蔽介质层将控制栅和屏蔽栅分隔。该双向功率器件通过与衬底连接的导电通道降低了器件的体电阻，提升了双向功率器件的性能。
基本信息
专利标题 ：
双向功率器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022417338.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-27
授权号 ：
CN213660381U
授权日 ：
2021-07-09
发明人 ：
杨彦涛张邵华
申请人 ：
杭州士兰微电子股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市黄姑山路4号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202022417338.0
主分类号 ：
H01L21/8232
IPC分类号 ：
H01L21/8232 H01L29/06 H01L27/02
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70
由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L21/77
在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理
H01L21/78
把衬底连续地分成多个独立的器件
H01L21/82
制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/822
衬底是采用硅工艺的半导体的
H01L21/8232
场效应工艺
法律状态
2021-07-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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