应用于射频驱动等离子体以提高鞘层形成、演化与脉冲间稳定的...
实质审查的生效
摘要
射频产生器系配置以产生射频讯号。射频讯号透过具有一种或多种状态的脉冲调变。在脉冲启动的初始状态期间，射频产生器透过选择射频讯号的频率来调整阻抗匹配。在脉冲的第二状态期间，射频产生器使用匹配网络调整阻抗匹配。第一状态包含控制射频产生器以输出功率突发，且第二状态包含控制产生器以输出操作功率。
基本信息
专利标题 ：
应用于射频驱动等离子体以提高鞘层形成、演化与脉冲间稳定的方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114424317A
申请号 ：
CN202080057529.0
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2020-08-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
林内尔·马丁尼兹乔纳森·斯米卡斯科特·怀特亚伦·贝里
申请人 ：
MKS仪器有限公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京德琦知识产权代理有限公司
代理人 ：
于会玲
优先权 ：
CN202080057529.0
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20200812
申请日 : 20200812
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
