一种等离子体刻蚀设备及其鞘层电压的测量方法
授权
摘要
本发明公开一种等离子体刻蚀设备及其鞘层电压的测量方法，能够简单准确地测量等离子体刻蚀设备的鞘层电压。该等离子体刻蚀设备，包括：设置在反应腔室内的静电吸盘，用于放置待刻蚀工件；静电吸盘包括至少一组电极对，每组电极对包括第一电极和第二电极；各电极对的表面被绝缘介质覆盖；每个第一电极与一个输出电压可调的第一直流电压源相连；每个第二电极与一个输出电压可调的第二直流电压源相连；第一电极连接第一直流电压源的回路中还串联有第一电阻，第二电极连接第二直流电压源的回路中还串联有第二电阻；第一直流电压源和第二直流电压源输出电压的极性相反。反应腔室中还设置有电压测量装置，用于测量每个第一电阻或第二电阻上的电压。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子体刻蚀设备及其鞘层电压的测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111383895A
申请号 ：
CN201811639715.6
公开（公告）日 ：
2020-07-07
申请日 ：
2018-12-29
授权号 ：
CN111383895B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
刘小波李雪冬车东晨邱勇陈兆超陈璐胡冬冬许开东
申请人 ：
江苏鲁汶仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市邳州市经济开发区辽河西路8号
代理机构 ：
北京得信知识产权代理有限公司
代理人 ：
孟海娟
优先权 ：
CN201811639715.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/67 H01L21/683 G01R19/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-07-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20181229
申请日 : 20181229
2020-07-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
