隔热斥拒极以及电极
实质审查的生效
摘要

公开一种具有隔热斥拒极的离子源。斥拒极包括斥拒极盘及多个轮辐,所述多个轮辐起始于斥拒极盘的后表面且终止于柱。在某些实施例中,柱在其长度的至少一部分上可为中空的。使用轮辐而非中心杆可减少从斥拒极盘到柱的热传导。通过并入中空柱,热传导被进一步降低。此种配置可将斥拒极盘的温度增加多于100℃。在某些实施例中,在斥拒极盘的后表面上设置有辐射屏蔽体,以减少从斥拒极盘的侧面发射的辐射量。此也可有助于增加斥拒极的温度。类似的设计可用于离子源中的其他电极。

基本信息
专利标题 :
隔热斥拒极以及电极
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114375484A
申请号 :
CN202080061716.6
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2020-08-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
亚当·M·麦劳克林奎格·R·钱尼乔丹·B·泰伊
申请人 :
应用材料股份有限公司
申请人地址 :
美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道3050号(邮递区号:95054)
代理机构 :
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 :
李凤蓉
优先权 :
CN202080061716.6
主分类号 :
H01J27/02
IPC分类号 :
H01J27/02  H01J27/20  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J27/00
离子束管
H01J27/02
离子源;离子枪
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 27/02
申请日 : 20200817
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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