一种离子源离子喷口装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子源离子喷口装置，将盖板的一端通过螺栓固定安装推杆，推杆的一端活动安装有气缸，气缸推动推杆移动，使得推杆带动盖板移动，进而使得盖板带动活动杆移动，使得活动杆绕第二销轴和第一销轴的轴心线转动，进而通过活动杆的转动使得盖板能够沿水平方向移动，以使得当箱体需要封闭时，盖板通过气缸的驱动向喷出口的一侧移动以与喷出口相抵，当需要对箱体内的部件进行维修或维护时，盖板通过气缸的驱动向远离喷出口的一端移动，以将箱体打开，从而方便对箱体内的部件进行维修或维护，气缸的驱动方便实现，且驱动过程稳定，易于实现。
基本信息
专利标题 ：
一种离子源离子喷口装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020046816.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-10
授权号 ：
CN211238154U
授权日 ：
2020-08-11
发明人 ：
毛念新黄翔鄂严仲君
申请人 ：
上海嘉森真空科技有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区博学南路1015弄9号
代理机构 ：
上海三方专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴玮
优先权 ：
CN202020046816.9
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J49/10 H01J27/02 H05H1/24
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2020-08-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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