本发明公开了一种外延设备的气体供应方法及装置，支撑组件的壳体、底座和控制盒连接，第一加热组件的多个第一安装板设置在壳体的第一安装槽内，第一支撑板和多个第一安装板连接，多个第一加热电阻分别设置在多个第一安装板内，第二加热组件的多个第二安装板设置在壳体的第二安装槽内，第二支撑板和多个第二安装板连接，多个第二加热电阻分别设置在多个第二安装板内。交叉设置的第一安装板和第二安装板可以形成气体流通的弯曲回路，极大地增加了加热器件和气体的接触面积，从而可以更加高效地进行加热，通过输出组件可以将气体排出，从而可以方便地对反应气进行加热，提高加热效率。