一种新型硅片自动裂片机
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种新型硅片自动裂片机,涉及硅片裂片设备技术领域,包括固定台、固定架、硅片放置台和下压辊,固定台上端滑动设有滑台,滑台上端滑动设有轴承座,轴承座的上端旋转设有支撑柱,支撑柱的顶端固定在硅片放置台上,支撑柱外部固定设置有从动齿轮,轴承座的一侧设有伸缩缸,伸缩缸的伸缩杆固定在轴承座上,轴承座的另一侧设有转动驱动机构和主动齿轮,从动齿轮和主动齿轮在轴承座向转动驱动机构的一侧滑动靠近后进行齿轮传动,固定架的内侧设有可升降的下压辊,下压辊设置在硅片放置台的上端。本发明可以自动把硅片进行旋转90度后再次进行裂片,不需工人操作,节省劳动力,同时大大提高了裂片的效率。

基本信息
专利标题 :
一种新型硅片自动裂片机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114284169A
申请号 :
CN202110749917.1
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-07-02
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
许玉雷
申请人 :
济南晶博电子有限公司
申请人地址 :
山东省济南市章丘区明水赭山工业园
代理机构 :
济南领升专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王吉勇
优先权 :
CN202110749917.1
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/78  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20210702
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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