半导体存储器装置
公开
摘要

根据本发明构思的半导体存储器装置包括:半导体基底;共源极半导体层,掺杂有第一导电类型的杂质,位于半导体基底上;多个绝缘层和多个字线结构,交替堆叠在共源极半导体层上;存储器单元介电层,穿透所述多个绝缘层和所述多个字线结构,并且覆盖在竖直方向上延伸的沟道孔的内壁;以及存储器单元结构,填充沟道孔。存储器单元结构包括沟道层和漏极层,在沟道层上设置有存储器单元介电层,沟道层填充沟道孔的至少一部分,并且漏极层覆盖沟道层的上表面,掺杂有第二导电类型的杂质,并填充沟道孔的上部的一部分。

基本信息
专利标题 :
半导体存储器装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114300453A
申请号 :
CN202110819494.6
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-07-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
洪载昊金炫哲金容锡金一权徐亨源柳成原李炅奂
申请人 :
三星电子株式会社
申请人地址 :
韩国京畿道水原市
代理机构 :
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 :
沈照千
优先权 :
CN202110819494.6
主分类号 :
H01L27/108
IPC分类号 :
H01L27/108  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/10
在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105
包含场效应组件的
H01L27/108
动态随机存取存储结构的
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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