半导体存储器件
公开
摘要
一种半导体存储器件包括：衬底，包括单元区、核心区和在单元区与核心区之间的边界区；在边界区中的边界元件隔离层，边界元件隔离层在边界元件隔离凹陷中并包括沿着边界元件隔离凹陷的轮廓延伸的第一和第二边界衬层；以及第一栅极结构，在边界元件隔离层的至少一部分和核心区上，其中第一栅极结构包括第一高介电层和第一栅极绝缘图案，以衬底的顶表面为基准参考水平面，第一栅极绝缘图案在第一高介电层之下，第一栅极绝缘图案不与第一边界衬层的顶表面重叠，以及其中第一栅极绝缘图案包括在第二边界衬层的顶表面与第一高介电层的底表面之间的第一_1栅极绝缘图案和在核心区的衬底的顶表面与第一高介电层的底表面之间的第一_2栅极绝缘图案。
基本信息
专利标题 ：
半导体存储器件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114582870A
申请号 ：
CN202111374021.6
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金桐晤吉奎炫韩正勋白头山
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
程丹辰
优先权 ：
CN202111374021.6
主分类号 ：
H01L27/108
IPC分类号 ：
H01L27/108
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27/00
由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27/02
包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27/04
其衬底为半导体的
H01L27/10
在重复结构中包括有多个独立组件的
H01L27/105
包含场效应组件的
H01L27/108
动态随机存取存储结构的
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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