本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统，其中，方法包括：以平行于硅棒长度方向的第一切面对硅棒进行切割，两个第一切面平行且对称设置在硅棒中心线的两侧，得到具有两个平行平面和相接在两个平面之间的弧面的中间棒；以平行于硅棒长度方向的第二切面对中间棒进行切割，两个第二切面平行且对称设置在硅棒中心线的两侧；第二切面与第一切面垂直，以得到截面为矩形的方棒；以平行于方棒长度方向的至少一个第三切面对方棒进行切割，第三切面与第一切面或第二切面平行，得到至少两个小硅棒。本申请实施例提供的硅棒切割方法、设备及系统能够解决传统方案中由大片结构切割小片结构所具有的缺陷。