本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统，其中，方法包括：以平行于硅棒长度方向的第一切面对硅棒进行切割，第一切面的数量为两个，两个第一切面平行，得到具有两个平行平面和相接在两个平面之间的弧面的中间棒、以及具有一平面及一弧面的边皮料；以平行于硅棒长度方向的第二切面对硅棒进行切割，第二切面的数量为至少三个，至少三个第二切面相互平行；第二切面与第一切面垂直，以得到至少两个小硅棒、以及具有一平面及一弧面的边皮料。本申请实施例提供的硅棒切割方法、设备及系统能够解决传统方案中由大片结构切割小片结构所具有的缺陷。