定位装置、光刻装置和物品制造方法
公开
摘要
本发明涉及定位装置、光刻装置和物品制造方法。本发明提供了一种用于定位物体的定位装置，定位装置包括：第一致动器和第二致动器，配置成沿着第一方向布置成彼此平行，并且使梁在第一方向上移动；第三致动器，配置成内置在梁中，并且使物体相对于梁在第二方向上移动，第二方向与第一方向交叉；以及控制单元，配置成控制第一致动器、第二致动器和第三致动器。
基本信息
专利标题 ：
定位装置、光刻装置和物品制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114296320A
申请号 ：
CN202111155239.2
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
寺尾勉
申请人 ：
佳能株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
林振波
优先权 ：
CN202111155239.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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