工业用机器人的手和工业用机器人
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够在使晶圆旋转的状态下进行搬运的制造成本低的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备：晶圆装载部(14a)；转动部(144)，其支承晶圆装载部(14a)且构成为绕沿Y方向延伸的轴旋转自如；按压部(145)，其被转动部(144)支承为向Y方向移动自如，且能够按压装载在晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面；以及轴部件(146)，其与按压部(145)固定连接且构成为沿Y方向移动自如，轴部件(146)能够与转动部(144)的旋转连动而旋转，转动部(144)的旋转轴(AL)和轴部件(146)的轴中心(CP1)一致。
基本信息
专利标题 ：
工业用机器人的手和工业用机器人
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114378837A
申请号 ：
CN202111170110.9
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
细川正己中江孝郎
申请人 ：
日本电产三协株式会社
申请人地址 ：
日本长野县
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沈捷
优先权 ：
CN202111170110.9
主分类号 ：
B25J11/00
IPC分类号 ：
B25J11/00 B25J15/02 B25J15/08 B25J18/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25J 11/00
申请日 : 20211008
申请日 : 20211008
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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