工业用机器人
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种在抑制更换作业的劳力和时间的同时能够小型化的工业用机器人。手柱(30)具有驱动按压部件(31d)的驱动机构(4p)、引导按压部件(31d)在按压部件(31d)驱动时的移动的导向槽(4h)以及吸引气体的空气配管(4c)。当晶圆夹持手(31)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将导向槽(4h)与空气配管(4c)连接的第一吸引通道。另外，当真空吸附手(32)被安装于手安装部(4m)时，能够形成将真空吸附手(32)的吸引孔(32b)与空气配管(4c)连接的第二吸引通道。
基本信息
专利标题 ：
工业用机器人
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114378852A
申请号 ：
CN202111170145.2
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
细川正己
申请人 ：
日本电产三协株式会社
申请人地址 ：
日本长野县
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沈捷
优先权 ：
CN202111170145.2
主分类号 ：
B25J15/00
IPC分类号 ：
B25J15/00 B25J9/06 B25J15/08 B25J19/00 B25J15/06 H01L21/677 B65G49/07
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25J 15/00
申请日 : 20211008
申请日 : 20211008
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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