工业用机器人的手和工业用机器人
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种能够可靠地保持晶圆而防止掉落的工业用机器人的手和具备该工业用机器人的手的工业用机器人。手(14)具备装载晶圆(2)的晶圆装载部(14a)和能够按压装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的端面的辊(145a)，辊(145a)的外周面(145a1)为直径从装载于晶圆装载部(14a)的晶圆(2)的背面侧朝向正面侧变大的锥面。
基本信息
专利标题 ：
工业用机器人的手和工业用机器人
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114378851A
申请号 ：
CN202111170058.7
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2021-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
细川正己
申请人 ：
日本电产三协株式会社
申请人地址 ：
日本长野县
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
沈捷
优先权 ：
CN202111170058.7
主分类号 ：
B25J15/00
IPC分类号 ：
B25J15/00 H01L21/687
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B25J 15/00
申请日 : 20211008
申请日 : 20211008
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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