一种减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法
公开
摘要
本发明公开了一种减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法，本发明涉及晶圆成膜技术领域，包括清洁箱，所述清洁箱下端固定连接有出料斗，所述出料斗滑动连接有第一回收箱，所述清洁箱固定连接有储液罐，所述储液罐固定连接有出料管，所述出料管固定连接有抽液泵，所述出料管固定连接有驱动机构，所述驱动机构连接有锥齿轮组件，所述锥齿轮组件连接有第二皮带轮组件，所述锥齿轮组件连接有清洁刷，该减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法，导电丝将刷毛产生的静电传输至导电柱端，连接件将导电柱端的静电经接地线导至地面，完成除静电，转杆、伸缩杆、弹簧相互配合，使得清洁刷本体底端与晶圆及片盒充分贴合。
基本信息
专利标题 ：
一种减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114289355A
申请号 ：
CN202111376165.5
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-11-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
戚定定
申请人 ：
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
代理机构 ：
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈相权
优先权 ：
CN202111376165.5
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00 B08B1/04 B08B3/02 B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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