一种减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法
公开
摘要
本发明公开了一种减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法,本发明涉及晶圆成膜技术领域,包括清洁箱,所述清洁箱下端固定连接有出料斗,所述出料斗滑动连接有第一回收箱,所述清洁箱固定连接有储液罐,所述储液罐固定连接有出料管,所述出料管固定连接有抽液泵,所述出料管固定连接有驱动机构,所述驱动机构连接有锥齿轮组件,所述锥齿轮组件连接有第二皮带轮组件,所述锥齿轮组件连接有清洁刷,该减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法,导电丝将刷毛产生的静电传输至导电柱端,连接件将导电柱端的静电经接地线导至地面,完成除静电,转杆、伸缩杆、弹簧相互配合,使得清洁刷本体底端与晶圆及片盒充分贴合。
基本信息
专利标题 :
一种减少晶圆表面颗粒吸附的成膜系统及成膜方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114289355A
申请号 :
CN202111376165.5
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-11-19
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
戚定定
申请人 :
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
代理机构 :
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈相权
优先权 :
CN202111376165.5
主分类号 :
B08B1/00
IPC分类号 :
B08B1/00 B08B1/04 B08B3/02 B08B3/08 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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