一种微纳薄膜热导率的快速测量方法
公开
摘要

本发明涉及一种微纳薄膜热导率的快速测量方法,属于微纳薄膜领域和热测量领域。本发明使用非接触式激光稳态测量方法和加速匹配算法相结合,可以实现厚度在微纳米尺度的薄膜热导率的快速测量;首先将微纳薄膜安装在样品固定装置中,然后使用光源加热微纳薄膜样品的表面使其温度上升,待其温度稳定不变后,使用测温装置测量微纳薄膜表面加热区的稳定温度,随后记录温度数值并导入仿真模型中使用加速匹配算法中进行计算,最后根据计算结果可得到被测薄膜的热导率值;本发明方法无需对测试薄膜进行额外的微纳加工,不会破坏薄膜的结构和完整性,测试装置可重复使用,可以实现多种不同类型的微纳薄膜的热导率测试。

基本信息
专利标题 :
一种微纳薄膜热导率的快速测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114295667A
申请号 :
CN202111462747.5
公开(公告)日 :
2022-04-08
申请日 :
2021-11-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张金英李德芳李卓王欣杨苏辉
申请人 :
北京理工大学
申请人地址 :
北京市海淀区中关村南大街5号
代理机构 :
北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王松
优先权 :
CN202111462747.5
主分类号 :
G01N25/20
IPC分类号 :
G01N25/20  G06F17/10  G06F30/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N25/00
应用热方法测试或分析材料
G01N25/20
通过测量热的变化,即量热法,例如通过测量比热,测量热导率
法律状态
2022-04-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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