本发明涉及一种改善MEMS载板边缘掉屑的制作方法，包括如下步骤：开料、内层线路、单面压合和制作线路、双面压合和制作线路、第一次铣成型、沉铜电镀、电镀锡、外层线路、阻焊、电镀镍金以及第二次铣成型，其中制作线路过程，在载板与基板之间设计了隔离区与连接桥，通过第一次铣成型工艺将隔离区铣断，在载板的边缘形成通槽，并通过沉铜电镀将通槽金属化，通过第二次铣成型工艺将连接桥铣断，而形成非金属化边缘向内凹陷的MEMS载板。本发明制作的载板在后续封装过程中其非金属化边缘与外界零接触，因此不会发生掉屑现象，对提高MEMS产品封装良率卓有成效，也提升了产品的性能水平及信赖性。