一种氮化硅与P型多晶硅等速蚀刻液
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种氮化硅与P型多晶硅的等速蚀刻液，其主要成分包括磷酸、单硝基化合物、硝基稳定剂、表面活性剂和水组成，本发明通过控制工艺温度以及调整各组分的添加量可以实现氮化硅层与P型多晶硅层的蚀刻速率比值稳定在1.0±0.1。
基本信息
专利标题 ：
一种氮化硅与P型多晶硅等速蚀刻液
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114350366A
申请号 ：
CN202111503313.5
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯凯贺兆波崔会东王书萍张庭尹印万杨阳钟昌东李鑫李金航
申请人 ：
湖北兴福电子材料有限公司
申请人地址 ：
湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号
代理机构 ：
宜昌市三峡专利事务所
代理人 ：
成钢
优先权 ：
CN202111503313.5
主分类号 ：
C09K13/08
IPC分类号 ：
C09K13/08 C30B33/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
C09K13/04
含一种无机酸
C09K13/08
含一种氟化物
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 13/08
申请日 : 20211209
申请日 : 20211209
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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