一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置
授权
摘要
本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置，其包括:容器、支撑件和加热组件；容器具有上端开口的容腔；容器上具有第一进液口，第一进液口与容腔连通，用于输入脱盐水；容器上具有第二进液口，第二进液口与容腔连通，用于输入碱液；容器的底部设置有排液口，排液口与容腔连通；支撑件设置在容腔内，用于放置氮化硅磁环；支撑件被容器支撑水平设置；支撑件上具有通孔；支撑件位于第一进液口和第二进液口的下方；加热组件设置在容腔内，位于支撑件的下方；加热组件上具有蒸汽入口；加热组件上具有蒸汽出口。采用本实用新型能够能够减少氮化硅陶瓷环的转运次数，提升清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021790363.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-24
授权号 ：
CN212944360U
授权日 ：
2021-04-13
发明人 ：
丁建
申请人 ：
新疆大全新能源股份有限公司
申请人地址 ：
新疆维吾尔自治区石河子市经济开发区化工新材料产业园纬六路16号
代理机构 ：
北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孟阿妮
优先权 ：
CN202021790363.7
主分类号 ：
B08B3/10
IPC分类号 ：
B08B3/10 B08B3/08 B08B13/00 F28D1/047
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
法律状态
2021-04-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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