一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法
实质审查的生效
摘要
本申请提供了一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法。所述ITO蚀刻液包括以下重量份数的各组分：2‑10份的草酸，0.01‑3份的表面活性剂，0.01‑3份的分散剂，以及水；其中，所述表面活性剂包括聚氧乙烯烷基二胺、聚氧乙烯烷基胺中的至少一种；所述分散剂包括二甘醇胺、聚乙二醇单辛基苯基醚中的至少一种。该ITO蚀刻液渗透性好、不易发泡、可控性强、蚀刻角度平滑、精度高，能在短时间内完成材料的蚀刻，蚀刻后材料的关键尺寸损失小于1.0μm，蚀刻角度小于70°，且蚀刻后基板上无光刻胶保护的区域几乎无ITO残留。
基本信息
专利标题 ：
一种ITO蚀刻液及其制备方法、应用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114507527A
申请号 ：
CN202111517991.7
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王维潘春林李自杰林秋玉
申请人 ：
福建中安高新材料研究院有限公司
申请人地址 ：
福建省福州市鼓楼区软件大道89号福州软件园G区13号楼二层201室
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
李珊珊
优先权 ：
CN202111517991.7
主分类号 ：
C09K13/00
IPC分类号 ：
C09K13/00 H01L21/3213
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09K
不包含在其他类目中的各种应用材料；不包含在其他类目中的材料的各种应用
C09K13/00
蚀刻，表面光亮或浸蚀组合物
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09K 13/00
申请日 : 20211213
申请日 : 20211213
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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