一种溅射率的测量方法
实质审查的生效
摘要
本发明提出了一种溅射率的测量方法，将测试样品置于辉光放电发射光谱仪的激发窗口上，开始测试，并记下激发时间t；激发停止后，取下该测试样品，并置于3D激光显微镜下用激光模式进行扫描；通过3D激光显微镜上的测量软件，测量溅射坑的体积v；通过计算公式q＝v*ρ/t计算出溅射率q，其中ρ为测试样品的密度。该测量方法使用3D激光显微镜测量溅射坑的体积，不需要选取底部测量基准面即可直接得到体积结果，测量过程简单，稳定性好，测量结果精度高；并且3D激光显微镜不需要与样品表面接触，不会对样品表面造成损伤。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射率的测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114324298A
申请号 ：
CN202111541003.2
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨丽卉陈然刘玉龙张月胡赞
申请人 ：
东风汽车集团股份有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市武汉经济技术开发区东风大道特1号
代理机构 ：
武汉开元知识产权代理有限公司
代理人 ：
俞鸿
优先权 ：
CN202111541003.2
主分类号 ：
G01N21/67
IPC分类号 ：
G01N21/67
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/62
所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统
G01N21/66
电激发的，例如电发光
G01N21/67
利用电弧或放电
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/67
申请日 : 20211216
申请日 : 20211216
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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