一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液
实质审查的生效
摘要
本发明属于金属蚀刻技术领域,特别涉及一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液,由以下质量百分含量的组分组成:1‑5wt%硝酸、1‑5wt%螯合剂和余量的去离子水。本发明放弃了使用双氧水,且不含氟,安全性高,蚀刻液组分简单,成本低,蚀刻液的使用寿命长,能够更好地满足FPD行业高精度蚀刻加工的要求。
基本信息
专利标题 :
一种高稳定性PFD行业铜合金膜用蚀刻液
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318339A
申请号 :
CN202111573182.8
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈浩李华平王润杰
申请人 :
苏州博洋化学股份有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区浒墅关镇华桥路155号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111573182.8
主分类号 :
C23F1/18
IPC分类号 :
C23F1/18
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料;金属材料的缓蚀;一般防积垢;至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/18
蚀刻铜或铜合金用的
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23F 1/18
申请日 : 20211221
申请日 : 20211221
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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