场效应存储器件
实质审查的生效
摘要

本公开提供一种场效应存储器件,涉及半导体技术领域。该器件包括:半导体基片;源区和漏区,形成于半导体基片上且相互隔开,源区与漏区之间形成有沟道区,沟道区上形成有栅氧层,栅氧层的两端与源区和漏区相接,栅氧层具有可移动带电缺陷,栅氧层上形成有栅电极;源电极和漏电极,分别形成于源区和漏区上。本公开的场效应存储器件,利用栅氧层中可移动带电缺陷的位置分布来调控沟道电流的开关状态,实现信息的写入。结构简单,容易制备,易于大规模推广应用的特点,可以同时满足目前对非易失存储器提出的快速读写、高读写次数、低功耗、高存储密度、兼容CMOS工艺的要求。

基本信息
专利标题 :
场效应存储器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114284356A
申请号 :
CN202111584356.0
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-12-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
尹志岗董昊程勇吴金良江奕天张兴旺
申请人 :
中国科学院半导体研究所
申请人地址 :
北京市海淀区清华东路甲35号
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
李世阳
优先权 :
CN202111584356.0
主分类号 :
H01L29/51
IPC分类号 :
H01L29/51  H01L29/78  H01L21/336  
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 29/51
申请日 : 20211222
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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