一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于类金刚石薄膜制备的技术领域，公开了一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法。所述方法：将类金刚石涂层样品进行深冷处理，获得强化处理的类金刚石薄膜；所述类金刚石涂层样品中类金刚石涂层的sp3C体积含量为42％‑75％；所述深冷处理的条件：于‑100～‑196℃保温处理4～8h。本发明先制备sp3C体积含量为45‑75％的类金刚石涂层，然后通过深冷处理诱导涂层中部分sp2C转变为sp3C，从而提高涂层中的sp3C含量和涂层硬度。本发明的方法简单，通过深冷调控手段不仅无损且便于实现规模化量产。
基本信息
专利标题 ：
一种强化处理的类金刚石薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114351110A
申请号 ：
CN202111614250.0
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
彭继华彭瀛龙肖扬
申请人 ：
华南理工大学
申请人地址 ：
广东省广州市天河区五山路381号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈智英
优先权 ：
CN202111614250.0
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/56 C23C16/515 C23C14/06 C23C14/02 C23C14/16 C23C14/32 C23C14/35 C23C14/58 C23C28/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/26
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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