一种基于弛豫铁电单晶的声表面波谐振器及制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于弛豫铁电单晶的声表面波谐振器及制备方法，属于声表面波技术领域。本技术方案声表面波谐振器由叉指电极层和压电基底层依次叠放构成。所述压电基底层的材料为掺杂铌铟酸铅‑铌镁酸铅‑钛酸铅的弛豫铁电单晶，简称Mn‑PIMNT，0.5mol％Mn‑xPb(In1/2Nb1/2)O3‑(1‑x‑y)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3‑yPbTiO3。本发明提出的弛豫铁电单晶的声表面波谐振器结构获得的瑞利波具有高的机电耦合系数，高达24％。而且通过旋转欧拉角优化不同极化方向的Mn‑PIMNT弛豫铁电单晶的取向，优选出具有高性能的声表面波，非常适用于大宽带声表面波器件。
基本信息
专利标题 ：
一种基于弛豫铁电单晶的声表面波谐振器及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114520637A
申请号 ：
CN202111635090.8
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2021-12-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵祥永刘会灵谢青秀张巧珍王飞飞
申请人 ：
上海师范大学
申请人地址 ：
上海市徐汇区桂林路100号
代理机构 ：
上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘朵朵
优先权 ：
CN202111635090.8
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H3/08 C30B29/22 C30B33/04
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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