一种铝基粉末合金靶材的制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种铝基粉末合金靶材的制备方法。其中，铝基粉末包括铝粉，铝基粉末合金靶材的制备方法包括下述步骤：(1)混粉：将所述铝基粉末混合均匀；(2)冷压成型：将经步骤(1)处理得到的铝基粉末装入冷压模具，在压力下压制，得到生坯；(3)脱气：将生坯装入热等静压模具进行脱气处理；(4)热等静压：对经步骤(3)处理得到的料坯进行热等静压处理，即得铝基粉末合金靶材。本发明的方法制备得到的合金靶材在满足其组织、性能等材料技术要求的前提下，可以提高热等静压中装粉的相对密度，增加热等静压装炉重量，还可显著提升材料利用率，提升靶材生产效率，降低靶材成本。
基本信息
专利标题 ：
一种铝基粉末合金靶材的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318257A
申请号 ：
CN202111667846.7
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张凤戈岳万祥魏铁峰张欠男张学华姚伟
申请人 ：
北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室
代理机构 ：
北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
荣红颖
优先权 ：
CN202111667846.7
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 B22F3/04 B22F3/15
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
