一种合金靶材连续式制备系统及其方法
公开
摘要
本发明公开了一种合金靶材连续式制备系统,包括框架、支撑壳、转盘、驱动机构、支撑盘、凸块、吸盘、靶材、转换机构、第一气缸、第一气缸杆、磨板和支脚,所述框架上焊接有支撑壳,所述支撑壳内转动连接有转盘,所述转盘上设置有驱动机构,所述驱动机构上设置有支撑盘,所述支撑盘上固定安装有吸盘,所述吸盘上吸附有靶材,所述框架上设置有转换机构,所述框架上固定安装有第一气缸,所述第一气缸的第一气缸杆和框架滑动连接,所述第一气缸杆上焊接有磨板,所述磨板和靶材接触。本发明涉及一种合金靶材连续式制备系统及其方法,具有便于对靶材进行连续加工和靶材便于进行安装更换的特点。
基本信息
专利标题 :
一种合金靶材连续式制备系统及其方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114406851A
申请号 :
CN202210031202.7
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴丽君
申请人 :
漳州市合琦靶材科技有限公司
申请人地址 :
福建省漳州市华安经济开发区九龙工业园
代理机构 :
泉州市潭思专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
彭龙
优先权 :
CN202210031202.7
主分类号 :
B24B19/00
IPC分类号 :
B24B19/00 B24B41/06 B24B41/02 B24B47/12 B24B47/20 C23C14/34
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B19/00
未包括在其他任一大组的特殊磨削加工的专用机床或装置
法律状态
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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