具有微细多引线的压力传感器的封装方法
实质审查的生效
摘要
本发明为具有微细多引线的压力传感器的封装方法,提供漆包线及压力传感器芯片,漆包线中至少有一根引线,压力传感器芯片上设置有焊盘;在漆包线的一端形成开裂结构;将开裂结构去除外表皮以使引线端子露出;采用金属件分隔相邻的引线端子;使引线端子焊接固定于焊盘上,并形成相邻但不相连的焊点;形成低温玻璃烧结层覆盖焊点并填充焊点之间的间隙;在低温玻璃烧结层表面形成氮化硅封装结构层;各层级材料的热膨胀系数在较广的温度范围内呈现良好的热匹配性,可以达到‑70‑350℃范围使用,并且封装巧妙,使用了氮化硅和玻璃烧结层封装,保证了良好的生物相容性和使用稳定性,且整体制备工艺简单,能够达到较高良品率和生产效率的自动化过程。
基本信息
专利标题 :
具有微细多引线的压力传感器的封装方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114314503A
申请号 :
CN202111676553.5
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-12-31
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
范茂军韩志磊黄富年
申请人 :
深圳市信为科技发展有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区龙城街道爱联社区陂头背村新丰路28号
代理机构 :
深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
向用秀
优先权 :
CN202111676553.5
主分类号 :
B81C1/00
IPC分类号 :
B81C1/00 B81B7/02 B81B7/00 B23K3/08 B23K1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B81C 1/00
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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