体声波器件及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种体声波器件及其制作方法，其中体声波器件的制作方法包括：提供基底，基底具有发射器件区与接收器件区；于基底上形成第一功能层，第一功能层至少覆盖发射器件区与接收器件区；于第一功能层上形成刻蚀停止层；于刻蚀停止层上形成第二功能材料层；基于刻蚀停止层，去除对应接收器件区的第二功能材料层，剩余的第二功能材料层构成第二功能层，第二功能层与第一功能层共同形成功能结构层，体声波器件的压电层或者底电极层或者顶电极层包括该功能结构层。本申请可以有效降低体声波器件的制作成本。
基本信息
专利标题 ：
体声波器件及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114465588A
申请号 ：
CN202111676881.5
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2021-12-31
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
项少华王冲陈国基刘国安
申请人 ：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭凤杰
优先权 ：
CN202111676881.5
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02 H03H3/04 H03H9/02 H03H9/13 H03H9/17
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 3/02
申请日 : 20211231
申请日 : 20211231
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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