本发明提供的集成电路测试中小电流数据的处理方法，包括：获取现有测试设备的若干小电流数据，拟合得到电流随时间变化的函数：y＝a×ln(b×t+c)+d；获取需处理的小电流数据；对需处理的小电流数据进行拟合，得到电流随时间变化的线性函数：y＝e×t+f和曲线函数：y＝a₁×ln(b₁×t+c₁)+d₁；设新测试设备基准电流数值为y_BL，根据公式y＝a×t+b得到t_BL；y＝e×t+f与y＝a₁×ln(b₁×t+c₁)+d₁存在两个交点，横坐标值为t₁、t₂，判断t_BL与t₁、t₂的大小，计算N次测试时间范围；对位于N次测试时间范围内的N个小电流数据取平均值得到的标准小电流数据。通过该小电流数据的处理方法，使客户在使用新测试设备时，能够对新测试设备的小电流数据进行补偿，匹配客户现有设备的小电流数据。