一种芯片加工用双面晶圆划片机
授权
摘要

本实用新型公开了一种芯片加工用双面晶圆划片机,包括划片机本体,划片机本体内设置有滑动块,滑动块经与滑动件连接的驱动件连接滑动设置在划片机本体内,滑动件固定在划片机本体侧壁上且能够驱动驱动件横向移动,驱动件滑动设置在划片机本体内且与滑动件连接,滑动件上设置有第一电机,第一电机输出轴上固定有固定块,固定块上固定有激光笔,划片机本体内设置有第一吸盘,第一吸盘经与升降件连接的第一移动件滑动设置在划片机本体内,升降件滑动设置在划片机本体内,划片机本体上固定有第一负压泵且第一负压泵与吸盘管道连接,划片机本体上设置有第二吸盘,划片机本体上固定有第二负压泵,可以对工件双面进行加工。

基本信息
专利标题 :
一种芯片加工用双面晶圆划片机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202120777208.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-04-16
授权号 :
CN216325857U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
胡天武
申请人 :
绍兴宇力半导体有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市越城区巨星大厦511室
代理机构 :
绍兴融创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张驰骋
优先权 :
CN202120777208.X
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38  B23K26/402  B23K26/70  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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